顛覆傳統的
液體分離科技 高頻濾動膜系統 (EVM)

賦能半導體與載板廠，兼顧極致良率與 ESG 永續目標。

查看實證案例 解密專利設備

核心承諾：打破「永續」與「獲利」的零和遊戲

廢棄物與化學品雙減

大幅減少客戶廢液委外處理量及新化學品採購成本，輕鬆達成供應鏈嚴苛的減碳與水資源循環指標。

提升 Baseline 良率

維持藥液高潔淨度，完美取代傳統濾芯精度不足，過濾效率差。

極低能耗與省空間

0.89KW/噸
產水能耗極低，且整套系統較傳統膜工藝設計大幅節省 30%~50% 的廠房佔地面積。

專利設備解密：超頻濾動膜系統 (EVM)

傳統超濾回收率低且維護成本高，EVM 透過「賦予流體動能」徹底解決痛點。

EVM 設備解密

廠內水資源的終極閉環：讓一滴水發揮四倍價值

4 次

每滴水平均使用

75%

減少廢水排放

亞氨科技的目標並非只是「過濾」，而是協助高科技廠打造真正的微型水資源循環網絡，將廢水轉化為源源不絕的製程活水。

跨領域實證：挑戰高濃度與極限純化

CMP 廢液照片
CMP 研磨廢液

極限減量與回用

晶圓與封測廠實證 | 100升濃縮至25升

懸浮固體 (SS) 淨化: 454 → 23 ppm

原水黑濁，產水清澈透明。徹底解決傳統設備含金屬離子與污泥量過多的劣勢。

Slurry 水瓶照片
Slurry 廢液

無淤積的極致穩定性

高壓連續運轉 | 6小時連續進料零波動

COD: 10770 → <20 mg/L
TDS: 3170 → 86.8 mg/L

RO進水與排壓力全程無變化，實證高剪切力完美防止研磨顆粒淤積。

CoWoS TMAH 照片
先進封裝 CoWoS

TMAH 在線純化

消除品質震盪 | 維持水平壓差曲線

  • 提升 Baseline: 確保顯影一致性。1% 良率提升產值遠超設備成本。
  • ESG 達標: 雜質濃縮成極小體積漿料，免除廠務處理劇毒廢棄物重擔。
BG 廢水圖表
晶圓製造 BG

高濃度挑戰攻克

黑濁原水變清澈透明產水

回收率
75%
COD 驟降
80.3 mg/L

產水水質優於多數工業排放標準，具備回用至次級用水或減費排放之極高潛力。

燒杯照片
載板與面板廠

藥液純化與無濾袋革命

PCB (ABF) 顯影液回用 / 其他應用

提升顯影槽 baseline，減少化學液使用量，徹底省去 1um 傳統濾袋更換作業。

適用於 Desmear 廢液回用、TFT-LCD 去膜液回用、純水回收，直接對接 SDGs。

PVA 水瓶照片
玻纖布廠

PVA 廢水高效純化

達標純水進水規格

  • 極致分離: 大幅降低淡側產水的 COD、導電度與鹽度。
  • 雙重效益: 濃縮廢水降委外費；產水直接達到進純水系統的回用要求。

跨界整合實力

世界首創電子級氨氣(水)回收系統

展示亞氨科技在大型系統建置的卓越能力。

成功建置全球首套電子級氨氣回用系統，展現從單一機台到全廠級循環系統的工程底蘊。

實績場域

台灣隆達電子 (Lextar)
廈門開發晶照明 (Kaistar)

大型系統建置實績

整合藍圖：對接先進晶圓廠的現地回收標準

整合藍圖架構

您的永續發展與極致良率戰略夥伴

專利驅動

全球領先的高頻震動膜技術。

良率提升

消除製程污物波動，提升 Baseline。

零浪費願景

廢液減量極大化，降低委外成本。

極致減碳

超低能耗，助力供應鏈 ESG 達標。